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P21壓電旋轉(zhuǎn)臺為一維θz旋轉(zhuǎn)臺，產(chǎn)品體積小巧，旋轉(zhuǎn)角度可達(dá)到7.5mrad，承載能力達(dá)0.1kg，可帶動(dòng)鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖

小體積、高分辨率、高精度

P21一維旋轉(zhuǎn)臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理， 可以實(shí)現(xiàn)7.5mrad的旋轉(zhuǎn)， 體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊， 尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，臺體采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，無摩擦、無回差，可以實(shí)現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實(shí)現(xiàn)微弧度的定位精度，在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。

典型應(yīng)用

頻率負(fù)載曲線

應(yīng)用實(shí)例

P21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用，組成多軸精密壓電定位臺，用于多維精密直線與旋轉(zhuǎn)定位操作。

技術(shù)參數(shù)

型號：P21

運(yùn)動(dòng)自由度：θz

旋轉(zhuǎn)角度@120V：6mrad(~1240”)   

旋轉(zhuǎn)角度@150V：7.5mrad(~1500”)

閉環(huán)傳感器：SGS

閉/開環(huán)分辨率：0.4(~0.085”)/0.2(~0.04”)

閉環(huán)線性度：0.5%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.2%F.S.

推/拉力：10/5N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：1N/μm

空載諧振頻率：1.1kHz

閉/ 開環(huán)空載階躍時(shí)間：30/1.5ms

承載能力：0.1kg

靜電容量：1.8μF

材質(zhì)：鋁

重量：105g